한화그룹의 반도체 첨단 패키징 장비 및 제조 솔루션 기업 한화정밀기계가 ‘세미콘 타이완 2024’ 전시회에 참가한다고 4일 밝혔다.
세미콘 타이완은 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 대만 최대 규모 반도체 산업 전시회로 43개국 700여개 제조사가 참가하는 업계 주요 전시회다. 올해 행사는 4일부터 3일간 타이페이 난강 국제전시장(TaiNEX)에서 열린다.
한화정밀기계는 어드밴스드 패키징 기술 구현이 가능한 3D 스택 인 라인 솔루션을 비롯해 최근 각광받고 있는 인공지능(AI) 반도체 HBM(고대역폭메모리)의 핵심 공정 장비인 TC본더 ‘SFM5-Expert’를 처음 선보였다. 3D STACK은 여러 개의 다이(Die)를 수직으로 적층하고, 전도성 물질을 이용해 다이를 전기적으로 연결하는 패키징 기술로, 반도체 칩을 더 작게 만들 수 있어 고성능 반도체 제작을 위한 필수 공정 중 하나다.
한화정밀기계는 소품종 대량생산에 적합한 'SFM5’와 다품종 소량생산에 최적화된 'SFM3-FA’플립칩본더도 출품했다. 글로벌 종합 반도체 기업(IDM)과 패키징 기업(OSAT)의 요구사항을 유연하게 대응할 수 있는 전방위 반도체 장비 라인업을 선보였다고 회사 측은 자평했다.
이성수 한화정밀기계 대표이사는 "반도체 후공정 장비로 두 차례 '장영실상'을 수상했을 만큼 한화정밀기계는 오랜 기간 축적해 온 반도체 기술 역량을 기반으로 사업을 확장하고 있다"면서 "지속적인 기술 개발을 통해 글로벌 반도체 고객사에 맞춤형 솔루션을 제공해 시장을 선도하는 반도체 종합 제조 솔루션 제공사로 자리매김하겠다”라고 밝혔다.
오현승 기자 hsoh@segye.com
